포인트엔지니어링 - 아노다이징 코팅 기술 최강자

코미코 세정 코팅 예시

반도체와 디스플레이는 불순물에 매우 민감하기 때문에 증착 및 에칭 공정 부품의 세정 코팅이 매우 중요합니다.

주로 증착 및 에칭 공정에서 플라즈마나 부식성이 강한 소재들이 사용되기 때문입니다.

국내 관련 업체로는 코미코, 아이원스, 포인트엔지니어링 등이 있으며, 코미코가 그 중 가장 큰 회사입니다. 다양한 해외법인과 기술력을 바탕으로 높은 M/S를 보유하고 있습니다.

세정 보다는 코팅에서 기술력 차이가 많이 발생하기 때문에 밑에서는 코팅에 대해 좀 더 자세히 살펴보겠습니다.

 

코팅의 종류 (코미코 자료)

코팅 기술에는 대표적으로 위 4가지 정도가 있으며, 코미코는 위 4가지를 모두 영위하긴 하지만 주로 우측 3가지가 주력입니다.

이 중에서도 코미코는 용사코팅에서 굉장히 많은 기술을 보유하고 있으며, 최근에는 PVD 코팅 기술력도 많이 올라오고 있는 것으로 파악됩니다.

반면 포인트엔지니어링은 아노다이징에 계속 집중하고 있는 것으로 파악되는데,

알루미늄 아노다이징 처리를 하면 생성되는 세라믹층이 플라즈마 내성이 굉장히 강하고 부식 특성이 좋음에도 그 두께가 너무 얇기도 하고 Porosity가 존재하여 많은 부품에 사용되지는 못하는 실정이었습니다.

포인트엔지니어링 반도체 특수 아노다이징

이를 극복하기 위해 포인트엔지니어링은 새로운 코팅기술을 꾸준히 개발하고 있고, 특수 아노다이징 기술을 개발하여 현재 반도체에 적용하기 위해 노력하고 있다고 합니다. (과거에도 매출이 발생하긴 했었음)

해당 기술에대한 자세한 자료가 없는 관계로, 확실하지는 않지만, 아노다이징 처리를 하면 알루미늄 표면에 가장 먼저 생성되는 평평한 Barrier Type 양극산화막을 두껍게 생성시키는 방법을 개발한 것으로 보입니다. (그럼에도 1um 미만)

기존 산화막의 경우 양극산화막 Barrier 위에 추가로 Porosity층이 생성되게 되는데, 이 층은 기공이 많아서 불순물 유입 및 Out-gassing 측면에서 불리합니다.

다만 이 층은 두께가 두꺼워서 만약 잘 활용한다면 굉장히 성능이 뛰어난 코팅을 구현할 수 있습니다.

 

포인트엔지니어링 특허

그래서 포인트엔지니어링은 몇년 전부터 이 Porosity층을 활용하기 위한 연구를 수행하고 있습니다

그림에서 보이는 다공층을 ALD 기술을 이용해 SiO2나 Y2O3 등의 물질로 채우는 것입니다. (ALD 소재는 오션브릿지 등에서 공급 받는 것으로 파악됨)

이렇게되면 두껍게 생성된 양극산화막을 모두 사용할 수 있음은 물론 Out-gassing 우려가 사라지기 때문에 부품의 수명이 매우 길어질 수 있습니다.

코팅가격이 기존 대비 2배라고 하여도, 수명이 3~4배 이상 늘어나기 때문에 많은 업체에서 위 코팅방식을 채용할 가능성이 높습니다.

포인트엔지니어링은 아노다이징 기술을 계속 고도화 하면서 디스플레이에서 반도체 반도체로 확장시키고 있고, 이제는 AAO 템플릿을 통해 마이크로핀을 구현시키는 등 굉장히 높은 확장성을 보여주고 있습니다.

정확하게 언제부터 시장이 기대하는 만큼의 매출 성장을 보여줄지는 모르겠으나, 지금부터는 반드시 주목해야 할 회사라고 생각합니다.

포인트엔지니어링 AAO 마스크, Micro-Pin, Micro-Socket

빠르면 이번 2분기부터 반도체향 코팅 매출액이 크게 증가할 것으로 기대되며, AMAT 뿐만 아니라 유진테크 등을 통해 SK하이닉스에 직접 공급하는 방식이 먼저 채용될 가능성이 높은 상황입니다.

또한 AAO Wafer를 애칭하여 몰드로 사용하는 방법 또한 연초에 주문한 장비들이 입고되면 8월부터 본격 세팅 및 시운전이 들어갈 예정이고, 빠르면 4분기부터 매출이 발생할 예정입니다.

AAO는 수직구조이기 때문에 에칭이 쉬워서 MEMS를 통해 원하는 형상의 몰드 구조를 만들기가 아주 수월합니다. 수율만 잘 확보한다면 Micro Pin와 Micro-Socket을 시작으로 굉장히 다양한 영역에서 활용될 수 있기에 기대가 큰 부분입니다.

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